第120章:干法蚀刻
第120章:干法蚀刻 (第2/3页)
如果让他们从新研究，就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。
到了此时，就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下，得知他们的任务非常困难，非短时间所能解决。于是他做出了一个决定，让这套芯片生产设备开始试制芯片，有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进加速芯片技术的发展。前期的问题肯定很多，这些都是自动检测程序的宝贵的资料。
没有自动检测程序，需要人工检测，芯片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样，整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意，对长胜投资集团来说，能用钱解决的问题都不是问题。
用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片，难度当然很低了，初次制造，合格率就非常高，达到了53%，不合格的芯片，不是工艺问题，而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了，还缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术，因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂，溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻，就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备，没有经验，以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备，以前4位元芯片的时候，人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。
得到了化学蚀刻出现问题之后，沈丹青非常重视，他立刻召集了相关科研单位商讨对策。
说实话，他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形，本来就很神奇。现在却说这种方法不行，要另想办法。这可真的难住他们了，他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过，蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们说：“试试干法蚀刻，或许要好许多。”
“老板，什么是干法蚀刻？你能祥细的告诉我们吗？”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢？
“先声明啊！我不懂具体原理。我只知道在一定的气压压力下，电浆离子与氧化硅或铜起反应或高速撞击，使之同样气态电离化，然后用抽气机抽走。又进行同样的步骤，直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀，得到比较陡边的图形。应该来说会比湿法蚀刻好得多，也精密得多。不管怎么样！大家先试试看吧！”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来，具体的技术和方法就要他们去研究了。
“老板，具体点，是哪几种电浆，你知道吗？”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道，所以才用这样的语气请问他。
“我怎么知道？我又不是科学
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