第66章 参观晶圆厂流水线（上）
第66章 参观晶圆厂流水线（上） (第2/3页)
始参观。
“很奇怪啊，如果停工一段时间，晶圆的良品率就会有所上升，但是在工作一段时间后，晶圆良品率就不行了，经常出现大面积晶体管损毁的现象。昨天是开工的第一天，所以今天的良品率还算是可以。”
牛玉鹏也是叹了一口气，继续补充道：“我们怀疑可能是哪套环节出现了问题，所以还请各位专家多多看看，分析一下问题的原因。”
叶志华也是面色沉重地点了点头，他也知道，这次几人背负的任务还是挺重的，就连他也没有信心，一定能抓住问题本质核心所在。
王向中一听到这话便知道，这问题大概率就是出在硅片生产线上了。在这个年代，即使有废气过滤系统，对氯化氢分子进行中和处理，但依然还是会有不少氯化氢气体逃逸而出，接着通过通风系统进入净室之内。
虽然氯化氢在常温下不与硅直接反应，但是在PN二极管上的硼，以及金属电路所使用的铝，则就没那么幸运了，它们会与氯化氢共同反应，直接破坏电路上的结构，从而导致废品率明显增多。
但除了金圆圆之外，所有人都不知道，其实这个问题早就被王向中一眼就给破解了，其关键问题根本就没有出在内部生产线中，而是外部的硅片生产线上。
当然王向中也不可能现在就把这个问题说出来，他还需要更多的细节来验证自己的猜想。
几人跟着牛玉鹏上了楼，便隐约听到前面房间里呼啸而来的风声。
“前面就是净室了，”被噪音影响，牛玉鹏的声音也不自觉地大了几分，“一会咱们就要换衣服进入净室了，先声明一下，里面不能吃东西，不能脱口罩，不能咳嗽挠痒，以防止污染物流入生产线，听明白了没有？”
几人听到牛玉鹏的话，皆是点了点头。
净室，顾名思义，即是干净的生产室。这条5英寸的晶圆生产线，制程约在0.9微米左右，普通的灰尘等颗粒污染物，其直径尺寸大概就是几微米左右的样子，一旦在生产线上出现灰尘颗粒，极有可能直接将数张甚至数百张晶圆直接报废，所以需要格外谨慎。
净室不仅在温度、湿度、压强等指标方面控制相当严格，就连微震动指标
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