第95章 技术探讨
第95章 技术探讨 (第1/3页)
“咱们真的要把光刻机给拆开？”
净室内，白马的双手都在忍不住颤抖。
这玩意一台价值千万，全华夏都只有那么屈指可数的几台，不得不说王向中是真的会玩。
“不拆怎么行，不拆，怎么学习人家的先进技术？”王向中笑道，手上那可是一刻都没闲着。
此时的他正带领着几个研究生，拿着螺丝刀和扳手，正在一丝不苟地拆卸着眼前的康尼光刻机。
尽管李东对此事表示万分反对，但在王向中的威逼利诱之下，他也不得不接受这一切，毕竟条件太诱人了——免费的工艺提升，又有谁能拒绝这个条件呢？
但一下子要让厂里损失五分之一的产能，每个月损失高达数百万，这也让李东心痛不已，但是一想想晶华的未来，他最终还是忍了下来。
将防震装置卸下，撬开光刻机上的钢制盖子，其中的透镜组以及工作台便露出了水面。
“我们现在不着急把透镜组拆开，我们先通过厂里留存的数据和物镜组的物理结构，画一个模型，测算一下理论数据。”
王向中指着透镜组说道。这款尼康NSR-1010g的透镜组高约1.2米，直径约在10-20厘米范围之间，与后世出现的DUV光刻机镜头不同，它整体呈现一个两头细、中间粗的样式。
这是一组典型的远心镜头设计，远心镜头设计的好处就是它可以在一定的物距范围内，使得到的图像放大倍率不会变化，这对被投影物不在同一物面上的情况是非常重要的应用。
透镜组中含有17块直径大小、球面曲率皆是有所不同的凸透镜和凹透镜，其中部分球面镜可以使用位置调节功能，用于调整透镜的散射和误差。
因为在光刻过程中，当激光通过透镜组时，透镜本身还会吸收激光本身的部分能量，导致透镜受热膨胀，最终使其密度发生变化，折射率改变。
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