第95章 技术探讨
第95章 技术探讨 (第2/3页)
因此在这根透镜组管上，还有不少预留于通风的管道和加热装置，用于给镜片散热和加热，让焦深保持稳定状态。
正当王向中解释着镜头时，不少研究生已经开始用卷尺和游标卡尺测量记录参数、模拟画图了。
他给在坐的研究生们详细介绍了一番光刻机的内部结构和原理，几乎是如同信手拈来一般流畅，瞬间也是扳回了不少印象。
原本他们还以为王向中只是个凭借背景，不学无术的小屁孩，没想到在理论研究上造诣竟然如此之高，因此众人自然是会对他高看几分。
现在看来，把刘兵这种人物赶走显然也是有他自己的道理。
“说了这么多，但毕竟我不是光学和材料学的专业人员，有些事情还得靠你们。我们拿不到康尼公司给到的具体数据，因此只能是自己动手验证。”王向中叹了一口气道。
但是研究生们似乎压根不理会王向中的言论，只是近距离地观摩研究着这美轮美奂的精致设计，还不时发出赞叹之声。
“这些镜头的材料都是氟化物晶体，据我推测，康尼的物镜大概使用的是特殊合成石英，这种材料的透光率极高，国内暂时还搞不到。”
“目前来讲，有两种方案，第一种是加镜片，通过在狭小的空间内加入更多的镜片，从物理层面提升它的数值孔径；第二种是改装投影物镜镜头装置，通过技术层面来增加数值孔径。”
“受专业限制，我不知道哪种方法更现实，所以还要请各位师兄结合实际，验证一下这两项方案的可行性。”王向中补充道。
对于大数值孔径光刻投影物镜来说，除了完善的光学系统设计方案外，关键在于光学加工、装校、调整以及相关的测试。投影光刻物镜镜头装配的最终目标是严格按照理论设计的要求保证镜头中每个镜片的相对空间位置精度，其中最主要的是沿光轴方向的空气间隔和相邻镜片之间的偏心误差，对光学元件的
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