第95章 技术探讨
第95章 技术探讨 (第3/3页)
空气间隔和偏心误差的检测精度往往在1/5到1/10微米之间。
“我认为第二种方法更可行。”此时，一个青年男子从人群中站起身来，“我是江超，和刘兵一样，都是物理系吴光教授手下的博士研究生，目前正在读博一，他是我的师兄。”
“第一种方案显然不太可行，康尼这款光刻机的整体钢骨架是固定的，加入更多的镜片就意味着相应的透镜组整体长度也要增加不少，要想把数值孔径提高到0.5，需要至少25片透镜，这个不太现实。”
“虽然设计上的难度其实不是特别大，从双高斯入手，一段段分裂透镜，改进足够久后总可能得到一个不错的结构形式。”
“但在投影光刻物镜镜头装配的过程中，子镜筒装配、镜筒级联装配、镜片偏心和空气间隔的检测以及单个镜片的位置调整等步骤是一个反复迭代进行的过程。并且镜片的空间位置检测以及单个镜片的位置调整具有相当高的实时性要求。”
“最重要的一点，”江超深深地叹了一口气，愁容满面道：“我们搞不到镜片。”
众人听到江超的一番话，皆是陷入了沉思之中。
的确如江超所言，光刻机镜头的最大难度不在设计，而在于工艺实现这一步，不仅是材料很难搞，合成石英需要降应力、提纯度、去气泡条纹，还有超高面型精度的镜片加工，打磨、测量、装配等等工作都够他们一群人吃一壶了。
所以应用现有的镜头结构，通过部分技术参数的调整，同样也可以实现数值孔径提高的要求。
“我有一个大胆的想法，斗胆一说，还请大家多多分辨分辨。”江超调整了一下护目镜，“我们可以尝试在照明上多做一些功夫，比如采用离轴照明法、四极照明法，环形照明法或者是倾斜照明法。”
“当然镜头上也要有改进，通过对温度、气压补偿来实现倍率补偿，从而改善线宽质量和提高分辨率！”