第165章 芯片生产设备到位试生产开始

    第165章 芯片生产设备到位试生产开始 (第2/3页)

芯片生产厂。

    芯片生产厂,已经建好半年多了,由于一直没有设备,只是反复在做空气质量测试。

    毕竟芯片生产需要无尘环境对空气质量要求还是非常高的。

    金梦凡带队到了以后,急忙组织人员,准备迎接设备的到来。

    ……

    一周后。

    首批测验用的光刻机、封装机、离子注入机等等设备纷纷到厂开始安装。

    光刻机最重要的功能就是光源和曝光工艺。

    国产光刻机以前为什么不行,主要是光源技术明显滞后,当然曝光工艺也不行。

    其实国际市场上产量最大的芯片生产设备,普遍还是采用第一代G光源的一点五微米到八百纳米左右的技术。

    毕竟不是所有的芯片都要求三百五十纳米以内的高端芯片制造。

    而第二代的I光源才是主要用于三百六十五纳米左右的芯片制造。

    不过第三代光源深紫外光(DUV)也已经有了。

    只是这会还不是很稳定并不能形成产能。

    而第四代光源技术极紫外光(EUV)现在所有人都没有头绪。

    全球所有的光刻机制造领域几乎都卡在这个地方。

    虽然芯片生产已经尝试向着第三代光源靠近。

    但量产的其实还是在第二代附近转悠。

    英特尔公司的奔腾系列和AM公司的K系列用的都是第二代光源量产的产品。

    全球的光刻机市场,实际上还是第二代光源技术在坐庄。

    说到这个时间节点的光刻机制造水平。

    以长岛国的两个品牌为主。

    而苏翰说的国产光刻机之前还处于第一代的水平。

    说完了光源问题又要说说曝光工艺的问题。

    毕竟光源和生产工艺缺一不可。

    现在的光刻机曝光工艺总共分为三种。

    第一种接近式曝光。

    第二种接触式曝光。

    第三种投影式曝光。

    接触式曝光精度很高。

    但接触式曝光需要接触晶圆片,容易造成晶圆片和掩膜版的损伤,良品率低,成本高,不适

    (本章未完,请点击下一页继续阅读)